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第四十七章 蒲伟才[1/3页]

　　1月15日，星期六。

　　合痩市。

　　乘坐高铁的卫明，来到了这座城市。

　　为此他特意跟樊姐请了两天假，提前处理了三十多名结石病人，合计腾出三天时间，就为了解决掉一个问题。

　　人才！

　　高端光刻机的研发人才。

　　而且卫明已经有了明确的招募目标，他认为的最合适最优秀的人才，就在合瘦市这边。

　　此人名叫蒲伟才。

　　卫明是在网上查找相关信息的过程中，看到了多条关于此人的新闻。

　　也注意到此人带领的研发团队，取得的跟光刻机相关的多项研究成果，了解了此人的牛叉之处。

　　因为这些天卫明也在大力学习一些跟光刻机相关的知识，了解到了EUV光刻机的几大核心技术。

　　一个，组装。

　　光刻机最重要的技术之一是组装，就是把所有的元件组装起来，然后使分辨率达到最高，同时套刻精度达到最佳。

　　比如机器内部温度的变化要控制在千分之五度，得有合适的冷却方法，精准的测温传感器。一台光刻机中，包含十几个分系统，几万个机械件，数百个的传感器，每一个都要稳定。

　　二，控制。

　　光刻机是制造业内对精密性要求最高的产品。光刻的原理就像在米粒大小的面积上，雕刻纳米级大小的文字，对于误差的要求可想而知。

　　比如光刻机里有2个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。

　　三，光源。

　　制造EUV需要极高的能量。EUV能被空气吸收，所以光刻环节必须耗电保持真空环境。更夸张的是，EUV还能被透镜吸收，所以只能用十几次面透镜，通过不断反射将光源集中。

　　每反射1次，EUV的能量就会损失3成。十几次反射后，到达晶圆的光线理论上只剩下2%。从能连赶上看，寒国某半导体企业曾经说过，极紫外光EUV的能源转换效率只有0.02%左右。

　　四、镜头。

　　光刻机的中心镜头对于镜头要求较高，位于光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成，需要高纯度透光以及高抛光。书楼吧

　　目前，符合光刻机要求的镜片还无法靠机器制造，先进光刻机镜头全部由手工打磨而成

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